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產(chǎn)品名稱: Helios G4 CX DualBeam雙束顯微鏡產(chǎn)品型號: TFE000049產(chǎn)品時間: 2020-06-29
客服熱線:4008005586
Thermo Scientific™ Helios™ G4 DualBeam™產(chǎn)品系列憑借其聚焦離子束和電子束性能、專有軟件、自動化和易用性特征,重新定義了樣品制備和三維表征的標(biāo)試方式。屬于業(yè)界Helios DualBeam系列的第四代產(chǎn)品,專為滿足科學(xué)家和工程師的各類分析及研究需求而設(shè)計,它將創(chuàng)新的Thermo Scientific Elstar ™ 電子鏡筒和Thermo
產(chǎn)品介紹
系統(tǒng)不僅配置進的電子和離子光學(xué)系統(tǒng),還采用了一系列進的技術(shù),可實現(xiàn)簡單一致的高分辨率S/TEM和原子探針斷層掃描(APT)樣品制備,以及質(zhì)量的內(nèi)部和三維表征,即使在挑戰(zhàn)性的樣品上也表現(xiàn)出色。Helios G4 CX DualBeam系統(tǒng)的技術(shù)創(chuàng)新結(jié)合易于使用、面的 Thermo Scientific AutoTEM ™4軟件(可選)和專業(yè)的應(yīng)用知識,可快速輕松地定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。為了獲得高質(zhì)量的結(jié)果,需要使用低能離子進行精拋,以大限度地減少樣品的表面損傷。Tomahawk聚焦離子束(FIB)鏡筒不僅可以在高電壓下進行高分辨率成像和刻蝕,而且具有良好的低電壓性能,可以制備高質(zhì)量的TEM薄片。
產(chǎn)品特點
• Tomahawk離子鏡筒實現(xiàn)速、高質(zhì)量、定位TEM和原子探針樣品制備。
• lstar電子鏡筒以短時間獲取納米尺度信息。
• 多達6個集成化鏡筒內(nèi)及透鏡下探測器,采集優(yōu)質(zhì)、銳利、無荷電圖像,提供完整的樣品信息。
• 可選AS&V4軟件,精確定位感興趣區(qū)域,獲取質(zhì)量、多模態(tài)內(nèi)部和三維信息。
• 小于10nm復(fù)雜結(jié)構(gòu)的快速、準(zhǔn)確、精確刻蝕和沉積。
• 高度靈活的110 mm樣品臺和內(nèi)置的Thermo Scientific Nav- Cam ™ 相機實現(xiàn)精確樣品導(dǎo)航。
• 集成化樣品清潔管理和的DCFI和Thermo Scientific SmartScan ™ 等模式實現(xiàn)無偽影成像。
參數(shù)
電子束
• 在工作距離下:
− 30kV下STEM 0.6nm
− 15kV下 0.6nm
− 1kV下 1.0nm
− 1kV下 電子束減速模式 0.9nm
• 在束重合點:
− 15kV下 0.6nm
− 1kV下 2.5nm
• 電子束流范圍:0.8pA–100nA
• 加速電壓范圍:200V-30kV
• 著陸能量范圍: 20eV-30keV
• 大水平視場寬度:4mm工作距離下為2.3mm
離子光學(xué)
• 大束流Tomahawk離子鏡筒
• 離子束流范圍:0.1pA–65nA
• 加速電壓范圍:500 V-30kV
• 兩級差分抽吸
• 飛行時間(TOF)校準(zhǔn)
• 15 孔光闌
• 大水平視場寬度:在束重合點出為0.9mm
• 離子源壽命至少1,000小時
• 離子束分辨率(在重合點處):
− 30kV下 4.0nm(采用統(tǒng)計方法)
− 30kV下 2.5nm(采用選邊法)
探測器
• Elstar 透鏡內(nèi)SE/BSE 探測系統(tǒng)(TLD-SE、TLD-BSE)
• Elstar 鏡筒內(nèi)SE/BSE 探測系統(tǒng)(ICD)
• Elstar 鏡筒內(nèi)BSE 探測系統(tǒng)(MD)
• ETD–Everhart-Thornley 二次電子探測器
• 樣品室紅外CCD相機,用于樣品臺高度觀察
• ICE探測器-高性能離子轉(zhuǎn)換和電子探測器,用于采集二次電子和二次離子
• Nav-Cam ™ : 樣品室內(nèi)彩色光學(xué)相機,用于樣品導(dǎo)航
• DBS–可伸縮式低電壓、高襯度、固態(tài)背散射電子探測器
• STEM 3+ – 可伸縮分割式探測器(BF、DF、HAADF)
• 集成電子束流測量
樣品臺和樣品
• 靈活五軸電動樣品臺:
-XY范圍:110mm
- Z范圍:65mm
• 旋轉(zhuǎn):360°(連續(xù))
• 傾斜范圍:-15°到 +90°
• XY重復(fù)精度:3μm
• 大樣品高度:與優(yōu)中心點間隔85mm
• 大樣品質(zhì)量(0°傾斜):2kg(包括樣品托)
• 大樣品尺寸:可沿X、Y軸*旋轉(zhuǎn)時直徑為110mm(若樣品超出此限值,則樣品臺行程和旋轉(zhuǎn)會受限)
• 同心旋轉(zhuǎn)和傾斜真空系統(tǒng)
• *無油的真空系統(tǒng)
• 樣品倉真空(高真空):< 2.6 x 10 -6 mbar(24小時抽氣后),抽氣時間:< 5 分鐘樣品倉
• 電子束和離子束重合點在分析工作距離處(SEM 4mm)
• 端口:21個
• 內(nèi)寬:379mm
• 集成等離子清洗
產(chǎn)品料號 | 產(chǎn)品貨號 | *產(chǎn)品名稱 | *產(chǎn)品規(guī)格 |
TFE000049 | TFE000049 | Helios G4 CX DualBeam雙束顯微鏡 | Helios G4 CX DualBeam |
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