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產(chǎn)品名稱: Verios XHR SEM掃描電鏡產(chǎn)品型號: TFE000052產(chǎn)品時(shí)間: 2020-06-29
客服熱線:4008005586
Thermo Scientific™Verios™ XHR SEM掃描電子顯微鏡(SEM)旨在提高您實(shí)驗(yàn)室的可發(fā)布結(jié)果。Verios SEM通過將整個1 keV至30 keV能量范圍內(nèi)的亞納米分辨率擴(kuò)展到新型材料,例如催化劑顆粒,納米管,孔隙,界面,生物物體和其他納米級結(jié)構(gòu),從而提供了新的見解。無需過渡到TEM或其他成像技術(shù)即可獲得高分辨率,高對比度的圖像。
產(chǎn)品介紹
Verios SEM提供了研究應(yīng)用所需的靈活性,可容納大型樣品,例如整片晶圓或冶金樣品。Verios SEM可在1至30 kV能量范圍內(nèi)以亞納米級分辨率提供精確的成像。它提供了在各種應(yīng)用中對材料進(jìn)行精確測量所需的出色對比度,而又不影響傳統(tǒng)SEM的高通量,分析能力,樣品靈活性和易用性。Verios SEM具有*的技術(shù),例如用于提高熱穩(wěn)定性的定焦鏡和用于更高偏轉(zhuǎn)線性的靜電掃描。在選擇參數(shù),處理大型樣品或支持其他應(yīng)用程序(例如分析或光刻)時(shí),它非常靈活。利用Verios XHR SEM,偶爾的用戶和專家都可以在短的時(shí)間內(nèi)訪問準(zhǔn)確而完整的納米級數(shù)據(jù)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
? 使用Elstar™單色儀以及優(yōu)化的光學(xué)器件和檢測功能,可以在您的樣品要求的操作條件下獲得準(zhǔn)確,真實(shí)的納米級信息:對于非導(dǎo)電樣品,其值為500 eV及以下;對于光束敏感樣品,則為低劑量操作。
? 收集完整的納米級信息:得益于Elstar*的四重SE / BSE檢測和過濾功能,地形和材料形成了對比,得益于我們*的多段STEM技術(shù),在結(jié)構(gòu)上形成對比。
? 使用Elstar的精確靜電束偏轉(zhuǎn)和*進(jìn)的校準(zhǔn)方法,可以依靠遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出普通SEM的精確計(jì)量。
? 體驗(yàn)快速,精確的樣品管理:容納大型樣品,可控地清潔樣品表面,以極低的放大倍數(shù)快速檢查并導(dǎo)航到感興趣的區(qū)域。
? 使用電子束光刻技術(shù),電子束誘導(dǎo)的材料直接沉積,執(zhí)行創(chuàng)新且精確的納米加工,并在上下或傾斜位置檢查創(chuàng)建的3D結(jié)構(gòu)。
? 發(fā)現(xiàn)一個針對簡單用戶而優(yōu)化的平臺,它具有簡單而強(qiáng)大的界面,以及可以依靠儀器的靈活性和擴(kuò)展控件來針對特定實(shí)驗(yàn)精確調(diào)整儀器的SEM專家。
參數(shù)
電子光學(xué)器件
Elstar XHR 浸沒透鏡 FESEM 鏡筒
? Elstar 電子槍,配有:
- 肖特基熱場發(fā)射體
- 熱拔插功能
- UC 技術(shù)(單色儀)
? 60 度雙物鏡(帶極片保護(hù))
? 加熱的物鏡孔隙
? 靜電掃描
? ConstantPower™ 透鏡技術(shù)
源壽命
? 電子源壽命:12個月
電子束分辨率
(需要現(xiàn)場調(diào)查以保證分辨率規(guī)格)
? 工作距離下的分辨率
- 30 kV 時(shí)為 0.6 nm (STEM)
- 15 kV 時(shí)為 0.6 nm
- 2 kV 時(shí)為 0.6 nm
- 1 kV 時(shí)為 0.7 nm
- 500 V 時(shí)為 1.0 nm (ICD)
- 200 V 時(shí)為 1.2 nm (ICD)
大水平場寬
? 電子束:在 4 mm 工作距離下大于2.0 mm
實(shí)際到達(dá)能量范圍
? 20 eV - 30 keV
探針電流
? 電子束:0.8 pA - 100 nA
真空系統(tǒng)
? 1 x 210 l/s TMP
? 1 x PVP(干式泵)
? 2 x IGP
? 樣品倉真空:< 2.6 * 10-6 mbar(24小時(shí)抽氣后)
探測器
? Elstar 透鏡內(nèi) SE 探測器 (TLD-SE)
? Elstar 透鏡內(nèi) BSE 探測器 (TLD-BSE)
? Elstar 鏡筒內(nèi) SE 探測器 (ICD)
? Elstar 鏡筒內(nèi) BSE 探測器 (MD)
? Everhart-Thornley SE 探測器 (ETD)
? 用于查看樣品/鏡筒的 IR 攝像頭
? 安裝在樣品倉的 Nav-Cam+™
? 伸縮式低壓、高襯度固態(tài)背散射電子探測器 (DBS)
? 帶有 BF/DF/HAADF 分段的伸縮式
STEM 探測器*
? 集成電子束電流測量
樣品倉
? 4 mm 工作距離下的電子束和EDS 重合點(diǎn)
? 21 個端口
超高精度 5 軸壓電式電動載物臺
? X、Y = 100 mm
? Z ≥ 20 mm
? T = - 10°至 + 60°
? R = n x 360°行程
? X、Y 可重復(fù)性 0.5μm
? X、Y 準(zhǔn)確度 < 1.5μm,85% 容差區(qū)間
? 機(jī)械式傾斜共心載物臺,傾斜角度為 0°到 52°時(shí)圖像移動小于5μm
? 中心旋轉(zhuǎn)和傾斜
樣品尺寸
? 大尺寸:直徑 100 mm,旋轉(zhuǎn)
? 大樣品厚度(通過裝載鎖):19 mm(含支架)
? 大樣品厚度(通過樣品倉門):27.8 mm(含樣品支架)
? 重量:200g(含支架)
樣品支架
? 多樣品臺支架
? 多樣品切片支架
? 單樣品臺底座,直接安裝在載物臺上
? 根據(jù)要求提供各種晶圓和定制支架
? 配備 -50V至-4 kV 的載物臺偏置的電子束減速
? 集成的快速電子束熄滅裝置
圖像處理器
? 駐留時(shí)間范圍為 0.025 到25000 μs/像素
? 6144 x 4096 像素
? 文件類型:TIFF(8、16、24 位)、BMP或JPEG
? 單幀或四象限圖像顯示
? SmartSCAN(256 幀平均或積分、線積分和平均法、隔行掃描)和DCFI(漂移補(bǔ)償幀積分)
系統(tǒng)控制
? 32位GUI(使用 Windows® XP)、鍵盤、光電鼠標(biāo)
? 兩臺 24 英寸寬屏 LCD 顯示屏,WUXGA 1,920 x 1,200像素
? 顯微鏡控制和支持計(jì)算機(jī)無縫共用一個鍵盤和鼠標(biāo)
? 操縱桿
? 多功能控制臺
? 遠(yuǎn)程控制
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