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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品名稱: Verios™5 XHR掃描電鏡
產(chǎn)品型號(hào): TFE000053
產(chǎn)品時(shí)間: 2020-06-29

客服熱線:4008005586

Thermo Scientific™ Verios ™ 5 XHR SEM可在1 keV至30 keV的整個(gè)能量范圍內(nèi)提供亞納米級(jí)的分辨率,并具有出色的材料對比度。自動(dòng)化和易用性水平使該性能可供任何經(jīng)驗(yàn)水平的用戶使用。對于材料科學(xué)家來說,熱科學(xué)Verios 5型XHR通過將亞納米特性擴(kuò)展到目前正在開發(fā)的新材料(如催化劑顆粒、納米管、孔隙、界面、生物物體和其他納米尺度結(jié)構(gòu))。

產(chǎn)品介紹

5XHRSEM提供了研究應(yīng)用的所有靈活性,以容納大樣本,如全晶片或冶金樣品,執(zhí)行快速分析由于其高電流模式或工作在精密原型應(yīng)用,如電子束誘導(dǎo)直接沉積材料或光刻。在半導(dǎo)體和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)市場,Verios 5XHRSEM性能顯著擴(kuò)展了SEM的能力,為基礎(chǔ)研究、工藝和材料開發(fā)、過程控制和失效分析提供了完整的解決方案。它提供了準(zhǔn)確的,可重復(fù)的測量結(jié)果,即使在敏感的材料。5XHRSEM的特點(diǎn)是行業(yè)性能,而不影響高吞吐量、樣品靈活性和傳統(tǒng)SEM的易用性。

 

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 使用UC +的納米材料圖像分辨率,這是一種單色電子源,可實(shí)現(xiàn)1-30 kV的亞納米性能。

? 敏感材料上的對比度,具有低至20 eV著陸能量的出色性能,高靈敏度的柱內(nèi)和透鏡下方檢測器以及用于低劑量操作和對比度選擇的信號(hào)過濾。

? 使用具有SmartAlign和FLASH技術(shù)的同類Elstar電子色譜柱,為任何經(jīng)驗(yàn)水平的用戶提供短的納米級(jí)信息。

? 使用ConstantPower鏡頭,靜電掃描和兩個(gè)壓電位移臺(tái)的選擇,可獲得一致的測量結(jié)果。

? 大腔室附件的靈活性。

? 使用AutoScript 4軟件(基于Python的可選應(yīng)用程序編程接口)進(jìn)行無人值守的SEM操作。

 

參數(shù)

 電子光學(xué)系統(tǒng)

? 二次電子分辨率:優(yōu)于0.6 nm (2kV – 15kV范圍內(nèi));0.7 nm@1kV;1.0nm@0.5kV;1.2nm@0.2 kV (保證客戶現(xiàn)場驗(yàn)收)

? 放大倍率:40 ~ 900,000倍

根據(jù)加速電壓和工作距離的改變,放大倍數(shù)自動(dòng)校準(zhǔn)

? 加速電壓:0.05 ~ 30 kV,著陸電壓:0.02 ~ 30kV

? 電子槍:帶電子束單色器技術(shù)的超高亮肖特基場發(fā)射電子槍

? 電子束流:0.8pA ~ 100 nA,連續(xù)可調(diào)

? 60°錐度物鏡幾何設(shè)計(jì),恒功率雙物鏡系統(tǒng)(電磁透鏡和靜電透鏡)

? 自動(dòng)式物鏡光闌:物鏡光欄應(yīng)能自加熱自清潔;無需拆卸鏡筒即可更換物鏡光闌,15孔可調(diào)光闌

樣品室

? 樣品室:可容納樣品直徑100 mm, 21個(gè)附件接口

? 可安裝冷凍樣品臺(tái)附件

? 樣品臺(tái):五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)超高精度樣品臺(tái),移動(dòng)范圍指標(biāo):

 -X/Y≧100 mm, Z ³ 20mm,

 -X/Y重復(fù)精度:0.5μm,連續(xù)旋轉(zhuǎn):R=720° 傾斜角

T:范圍不小于-10º~+60º

? 配置電子束減速模式,-50V至-4KV

? 探測器:

? Through-lens SE detector (TLD-SE) (透鏡內(nèi)二次電子探測器)

? Through-lens BSE detector (TLD-BSE) (透鏡內(nèi)背散射電子探測器)

? Elstar in-column SE detector (ICD) (鏡筒內(nèi)二次電子檢測器)

? Elstar in-column BSE detector (MD) (鏡筒內(nèi)背散射電子探測器)

? Everhart-Thornley SED (樣品室E-T二次電子探頭)

? Retractable DBS Detector (可拔插式定向背散射探頭)

? Retractable STEM 3+ Detector (可伸縮掃描透射探頭)

? 電子束流:電子束流測量

? 樣品室紅外CCD相機(jī)

? 樣品室導(dǎo)航光學(xué)探測器

清潔度控制

? 配置等離子體清洗器,與電鏡軟件一體化控制,保證無縫式售后

? 冷阱

 真空系統(tǒng)

? 無油真空系統(tǒng)

? 由一個(gè)210L/S前級(jí)機(jī)械泵,一個(gè)渦輪分子泵和兩個(gè)離子泵組成

? 樣品室真空度:優(yōu)于2.6×10-6 mBar(24小時(shí)抽吸之后)

數(shù)字圖像處理、記錄系統(tǒng)

產(chǎn)品料號(hào)產(chǎn)品貨號(hào)*產(chǎn)品名稱*產(chǎn)品規(guī)格
TFE000053TFE000053Verios™5 XHR掃描電鏡 Verios™5 XHR

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